正確使用施邁茨干式真空泵
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產(chǎn)品名稱(chēng): 正確使用施邁茨干式真空泵
產(chǎn)品型號: 10.03.01.00142 EVE-TR 40 AC3
產(chǎn)品展商: 施邁茨
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
正確使用施邁茨干式真空泵
三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著(zhù)相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動(dòng)部分有的選用兩個(gè)直流馬達，但這也會(huì )導致扭矩減小，重新啟動(dòng)的能力—下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每**都需要較大流量的氮氣來(lái)起到稀釋和隔離作用。
正確使用施邁茨干式真空泵
正確使用施邁茨干式真空泵
的詳細介紹
正確使用施邁茨干式真空泵
干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿(mǎn)足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無(wú)油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
雙圓裂片式設計和目前流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每**都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時(shí)，為了達到*的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
干式（無(wú)油）真空泵
旋轉葉片泵多單元壓縮原理
長(cháng)久潤滑軸承和強大冷卻風(fēng)扇
多種輸出數值的型號
效率**的旋轉葉片泵
牢固、維修量小
無(wú)振動(dòng)運行，連續、低脈沖輸出
良*的散熱功能
抽吸量可匹配客戶(hù)實(shí)際要求
耗電量低、連續運行經(jīng)濟性*
正確使用施邁茨干式真空泵
