PARKER膜片減壓閥結構分析
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產(chǎn)品名稱(chēng): PARKER膜片減壓閥結構分析
產(chǎn)品型號: PHS520D-02-110V-DL
產(chǎn)品展商: PARKER
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簡(jiǎn)單介紹
PARKER膜片減壓閥結構分析
產(chǎn)品提供精密且穩定的壓力控制，提*了MFC(質(zhì)量流量控制器)的**，這對半導體**的重復性和產(chǎn)量至關(guān)重要。
PARKER膜片減壓閥結構分析
的詳細介紹
PARKER膜片減壓閥結構分析
派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場(chǎng)上先進(jìn)的微型超*純減壓閥。
產(chǎn)品提供精密且穩定的壓力控制，提*了MFC(質(zhì)量流量控制器)的**，這對半導體**的重復性和產(chǎn)量至關(guān)重要。
產(chǎn)品同樣表現出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導體應用中至關(guān)重要的的過(guò)程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數流量需求變化提*出色響應。
產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設計，提供穩定閥座密封和壓力調節。沒(méi)有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，
這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)—步提*工藝清潔度和吹掃**
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。
閥體材料為內部電解拋光Vericlean316L不銹鋼。Vericlean”是派克公司的UHP超*純級不銹鋼。
膜片和閥芯材料為哈氏合金C-22R。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點(diǎn)相結合，
使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更*循環(huán)壽命，入口壓力*達250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規范.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內部(閥座）密封和金屬外部密封通過(guò)氦泄漏測試，
使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超*純應用中的**和穩定性
·有C和W密封貼面安裝1-1/8和1-1/2
閥體尺寸·極低粒子數
·腐蝕性和特殊氣體·半導體工具
·工具掛鉤.氣體柜
·半導體·分析試驗室·制藥
·生物制藥·航空航天·工業(yè)
·束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性. SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E0.15 Cv·出口壓力范圍:-10 psig 到60 psig
·內漏率:≤5x10-8 scc/sec立方厘米/秒He·外漏率:二2x10-10 scc/sec立方厘米/秒He·5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理
·工作壓力范圍:-40°F至+150° F(-40°C至+66°℃)
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