美國Parker調壓閥,派克應用參數

美國Parker調壓閥,派克應用參數 減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數流量需求變化提*出色響應。產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設計，提供穩定閥座密封和壓力調節。沒(méi)有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提*工藝清潔度和吹掃**.

美國Parker調壓閥,派克應用參數  
功能詳情:
緊湊型減壓閥:PR系列緊湊型減壓閥，單級式膜片減壓結構，不銹鋼膜片壓力傳輸，輸出穩定，適用于純凈氣體、腐蝕性氣體和非腐蝕性氣體;特點(diǎn)，波紋式膜片調壓;金屬-金屬膜片密封;彈簧加載調節壓力;內設過(guò)濾網(wǎng);可選擇面板安裝。
中等流量減壓閥:PM系列中等流量減壓閥，單級式膜片減壓結構，不銹鋼膜片壓力傳輸，輸出穩定，主要應用于中等流量氣體系統;
常規*壓減壓閥:PH系列常規*壓減壓閥主要用于*輸入壓力系統，活塞式減壓結構，**穩定，壓力入口達6000psig，出口壓力0~2500psig，適用于純凈氣體、標準氣體、腐蝕氣體等;特點(diǎn)，安全可靠的活塞壓力感應設計;內設過(guò)濾網(wǎng);可選面板安裝。
Veriflo部門(mén)的FR1000系列調節閥是非束縛隔膜的減壓閥， 提供低至中等流量的能力與入口壓力為3500 psig.FR1000提供工藝氣體導致在一個(gè)穩定的流量和下游系統使其成為閥箱、氣瓶柜優(yōu)良的選擇壓力提供正確的控制，和許多半導體制造中的應用.
標準的哈氏合金C-22®隔膜和綜合過(guò)濾促進(jìn)壽命長(cháng)**的同時(shí)，金屬對金屬密封膜片以獲得*度密封性。
FR1000提供相同的質(zhì)量、穩定性和**水平的派克產(chǎn)品的預期，在一個(gè)*度競爭的價(jià)格點(diǎn).新**線(xiàn)補充了我們現有的，保費qr4000和hf1200系列穩壓器，和組合，將廣泛應用在半導體制造中的應用。
P31R模塊化全球迷你型減壓閥，可以提供一個(gè)方便和低成本的方法，把供氣壓力降低調節到需要的出口壓力。這些減壓閥對大多數的工業(yè)應用場(chǎng)合都可以提供快速的響應調壓。它們通常被用于各種各樣的應用場(chǎng)合，需要減少壓力來(lái)滿(mǎn)足節能、安全需求、氣動(dòng)回路控制和氣動(dòng)儀器儀表的需求。
對于特定的流量和空間限制的應用場(chǎng)合，該產(chǎn)品可以提供一個(gè)不犧牲**的解決方案。減壓閥將波動(dòng)的進(jìn)氣壓力調節到減壓閥本身工作范圍內的相對恒定的降低的出口壓力。P31R可以使用模塊化連接塊連接到其他P31全球氣源處理產(chǎn)品上。各種可用的選項使這—系列產(chǎn)品易于滿(mǎn)足您的應用。

派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15Cv)是市場(chǎng)上先進(jìn)的微型超*純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩定的壓力控制，提*了MFC(質(zhì)量流星控制器）的**，這對半導體**的重復性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導體應用中至關(guān)重要的的過(guò)程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數流量需求變化提*出色響應。產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設計，提供穩定閥座密封和壓力調節。沒(méi)有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提*工藝清潔度和吹掃**.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內部電解拋光Vericlean"M316L不銹鋼。Vericlean”是派克公司的UHP超*純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金C-228。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點(diǎn)相結合，使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更*循環(huán)壽命，入口壓力*達250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規范.

SMSQ2Micro系列減壓閥的內部（閥座）密封和金屬外部密封通過(guò)氦泄漏測試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超*純應用中的**和穩定性.

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